Microscope Superview W1
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SuperView W1 – Profilomètre optique de surface 3D
Interférométrie à lumière blanche | Forme et rugosité de surface 3D nanométrique
Le WX100 est une sonde WLI compacte et autonome, conçue pour être intégrée dans des lignes de production ou des stations de mesure personnalisées. Elle apporte la puissance du profilage 3D et de la mesure de rugosité à l’échelle nanométrique directement dans votre processus de fabrication pour une inspection en ligne. Dotée d’une inclinaison motorisée et d’un SDK complet, elle constitue le composant idéal pour automatiser le contrôle qualité et développer des solutions métrologiques sur mesure.
Caractéristiques principales
Fonction de mesure : permet un balayage Z haute précision de la surface de l’échantillon et l’obtention d’une image 3D.
Fonction d’analyse : permet d’obtenir des données 2D et 3D telles que la rugosité de surface et le contour à l’échelle micro-nanométrique.
Fonction de programmation : prend en charge des étapes préconfigurées de traitement et d’analyse des données, permettant d’effectuer l’ensemble du processus — de la mesure à l’analyse — en un seul clic.
Analyse par lots : les modèles de traitement et d’analyse des données peuvent être personnalisés selon les besoins du client, permettant une analyse par lots en un clic pour les mêmes types de paramètres.
Logiciel : XtremeVision 3D
Le logiciel intégré XtremeVision 3D combine :
Balayage et analyse d’images 3D
Mesure automatisée
Filtrage intelligent du bruit
Balayage hybride (interférométrie à lumière blanche + confocal)
Il permet la reconnaissance automatique des caractéristiques et la mesure de la hauteur d’étape avec une répétabilité atteignant 0,005 μm et une précision par pas de 0,08 %.
Applications
- Semi-conducteur, plaquette de silicium polie, plaquette de silicium fine, plaquette de circuit intégré (IC)
- Électronique 3C, rugosité du verre saphir, défauts de moule de coque métallique, différence de hauteur d’écran en verre
Cas d’application
Mesure et analyse de la forme et des caractéristiques de profil de surface de divers produits, composants et matériaux, tels que la planéité, la rugosité, l’ondulation, l’aspect, les défauts de surface, l’usure, la corrosion, les jeux, les trous, les marches, la courbure, la déformation, etc.
Spécifications des objectifs
Super WX100 AU – système de mesure optique 3D de profil entièrement automatisé
Super WX100 AU – système optique de mesure de profil 3D entièrement automatisé